学霸的军工科研系统 第1430节（1 / 7）
他再拿起第三片：“这是‘显影缺陷’……工艺窗口太窄，稍有不慎，图案就毁了……”
“……”
他如数家珍般介绍着每一类报废的原因，语气平静，却像在展示一场场微缩战役的遗迹。
“这些，都算是我们交的学费……不过，在euv光刻机很可能无法获取的当下，这是我们唯一能看到的、通往更先进制程的技术途径。”
话语里听不出太多抱怨，只有一种面对客观规律的无奈。
常浩南的目光缓缓扫过这片触目惊心的“报废陈列区”，在这些承载着高昂代价和失败印记的晶圆上停留了几秒。
就在他移开目光的瞬间，视线落在了陈列台旁边墙上一个不起眼的展示框内。
框里并非照片或奖状，而是一张略显陈旧、线条密集的工程结构图。
或者更严格来说是一系列结构图。
看上去已经有些年头了，以至于上面标注的各种光学参数和镜片结构都有些模糊。
“这个……是物镜组的设计图？”常浩南走近几步，指着那张图，“你们还做过光刻设备的研发？”
旁边几个人都微微一怔，没想到常浩南会注意到这个角落。
“常院士好眼力。”吴明翰走上前解释道：“不过这是……好些年前的事了。”
他来到那张图面前站定，上下打量了一番：
“世纪初那会儿，国内连紫外光刻机都几乎是空白，我们确实组建过一个研发团队，尝试自研核心部件，尤其是物镜系统……这张图上面列出来的，就是陆续设计出来的一系列成果。”
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“……”
他如数家珍般介绍着每一类报废的原因，语气平静，却像在展示一场场微缩战役的遗迹。
“这些，都算是我们交的学费……不过，在euv光刻机很可能无法获取的当下，这是我们唯一能看到的、通往更先进制程的技术途径。”
话语里听不出太多抱怨，只有一种面对客观规律的无奈。
常浩南的目光缓缓扫过这片触目惊心的“报废陈列区”，在这些承载着高昂代价和失败印记的晶圆上停留了几秒。
就在他移开目光的瞬间，视线落在了陈列台旁边墙上一个不起眼的展示框内。
框里并非照片或奖状，而是一张略显陈旧、线条密集的工程结构图。
或者更严格来说是一系列结构图。
看上去已经有些年头了，以至于上面标注的各种光学参数和镜片结构都有些模糊。
“这个……是物镜组的设计图？”常浩南走近几步，指着那张图，“你们还做过光刻设备的研发？”
旁边几个人都微微一怔，没想到常浩南会注意到这个角落。
“常院士好眼力。”吴明翰走上前解释道：“不过这是……好些年前的事了。”
他来到那张图面前站定，上下打量了一番：
“世纪初那会儿，国内连紫外光刻机都几乎是空白，我们确实组建过一个研发团队，尝试自研核心部件，尤其是物镜系统……这张图上面列出来的，就是陆续设计出来的一系列成果。”
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