学霸的军工科研系统 第1430节（2 / 7）
他语气带着一丝缅怀和感慨：
“不过我们毕竟资源有限，不能过于分散精力去搞设备研发……而且长光所和沪光所那边也很快承担起了光刻机整机和核心部件的攻关任务，所以我们内部评估后，就停止了这方面的项目，把力量集中在工艺优化和制程提升上，研究也就止步于这些图纸了。”
他指了指图上复杂的透镜排布：
“您看，这是典型的全折射式设计，依靠大量高精度透镜的组合来聚焦光线，而现在主流先进的浸没式光刻机，用的都是更复杂、更精密，但也更强大的折反式物镜组，能结合反射镜和折射镜的优势。”
提起这段历史，人群中的气氛一时间有些微妙。
一直安静旁听的周学此时也开口补充道：
“虽然最后也没亲自下场造出光刻机，但这段早期的研发投入也不算白费……我们对光刻工艺本质的理解主要来源于这个阶段，也后来快速吸收和掌握设备，还有攻坚生产工艺打下了基础。”
常浩南凝视着那张略显泛黄的图纸，手指在展示框的玻璃上轻轻划过那些代表透镜的圆形轮廓和代表光路的射线，若有所思地点了点头。
还有一些问题，他本来是打算再去一趟长光所看看的。
但现在看来，似乎省事了。
第1608章 两手准备
参观结束，一行人来到基地顶楼一间安保级别极高的专用会议室。
厚重的隔音门关闭，只剩下核心的几人。
短暂的沉默后，常浩南端起茶杯抿了一口，放下，目光直接投向吴明翰。
“吴院士，抛开继续优化多重曝光和分辨率增强技术这条路不谈，在现有的193nm arf光源条件下，要想提升单次曝光的分辨率，还有没有更直接的技术路径？”
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“不过我们毕竟资源有限，不能过于分散精力去搞设备研发……而且长光所和沪光所那边也很快承担起了光刻机整机和核心部件的攻关任务，所以我们内部评估后，就停止了这方面的项目，把力量集中在工艺优化和制程提升上，研究也就止步于这些图纸了。”
他指了指图上复杂的透镜排布：
“您看，这是典型的全折射式设计，依靠大量高精度透镜的组合来聚焦光线，而现在主流先进的浸没式光刻机，用的都是更复杂、更精密，但也更强大的折反式物镜组，能结合反射镜和折射镜的优势。”
提起这段历史，人群中的气氛一时间有些微妙。
一直安静旁听的周学此时也开口补充道：
“虽然最后也没亲自下场造出光刻机，但这段早期的研发投入也不算白费……我们对光刻工艺本质的理解主要来源于这个阶段，也后来快速吸收和掌握设备，还有攻坚生产工艺打下了基础。”
常浩南凝视着那张略显泛黄的图纸，手指在展示框的玻璃上轻轻划过那些代表透镜的圆形轮廓和代表光路的射线，若有所思地点了点头。
还有一些问题，他本来是打算再去一趟长光所看看的。
但现在看来，似乎省事了。
第1608章 两手准备
参观结束，一行人来到基地顶楼一间安保级别极高的专用会议室。
厚重的隔音门关闭，只剩下核心的几人。
短暂的沉默后，常浩南端起茶杯抿了一口，放下，目光直接投向吴明翰。
“吴院士，抛开继续优化多重曝光和分辨率增强技术这条路不谈，在现有的193nm arf光源条件下，要想提升单次曝光的分辨率，还有没有更直接的技术路径？”
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