学霸的军工科研系统 第1467节（4 / 7）
他眼神中带着感激地看了一眼常浩南：“我们的工程师团队全程参与了上沪微电子的组装调试，对它的‘脾气’摸得很透所以这次产线升级和人员培训非常顺利，也比预期更快地克服了最后的一些技术问题。”
就在这时，一盒承载着希望的硅晶圆基底，通过自动物料传输系统（amhs）的机械臂，平稳地运送到了f-3产线的起始工位。
常浩南还记得自己上次来到这里时的场景。
这些晶圆比他之前看到的要大上一圈。
“这是12英寸晶圆吧……”常浩南问道，“上次你们跟我提过的新硅片厂，已经投产了？”
“常院士好眼力！”
吴明翰赞道，脸上笑容更盛：
“arf1800的高分辨率和高生产效率给我们省下了不少资源和精力，所以这次我们同步升级了f-3产线的晶圆处理系统，全面兼容12英寸晶圆。大尺寸晶圆能显著提升单次生产的芯片数量，降低成本，这也是国际主流的方向。”
众人的视线随着逐个铺展开来的晶圆在整条产线上不断转移着——
晶圆首先进入全自动清洗和前烘设备，去除表面污染物和水分。
接着是氧化炉，在晶圆表面生长一层薄而均匀的二氧化硅。
随后，晶圆被送入关键的匀胶机。
高速旋转中，粘稠的光刻胶被精准地涂覆在晶圆表面，形成一层厚度仅有微米级别的均匀薄膜，接着前烘氧化进一步去除溶剂，固化胶膜。
对于华芯国际而言，这些步骤都已经相当成熟。
但所有人仍然屏息凝神，生怕稍微粗重些的呼吸影响到某个细微参数，或是引得机魂不悦。
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就在这时，一盒承载着希望的硅晶圆基底，通过自动物料传输系统（amhs）的机械臂，平稳地运送到了f-3产线的起始工位。
常浩南还记得自己上次来到这里时的场景。
这些晶圆比他之前看到的要大上一圈。
“这是12英寸晶圆吧……”常浩南问道，“上次你们跟我提过的新硅片厂，已经投产了？”
“常院士好眼力！”
吴明翰赞道，脸上笑容更盛：
“arf1800的高分辨率和高生产效率给我们省下了不少资源和精力，所以这次我们同步升级了f-3产线的晶圆处理系统，全面兼容12英寸晶圆。大尺寸晶圆能显著提升单次生产的芯片数量，降低成本，这也是国际主流的方向。”
众人的视线随着逐个铺展开来的晶圆在整条产线上不断转移着——
晶圆首先进入全自动清洗和前烘设备，去除表面污染物和水分。
接着是氧化炉，在晶圆表面生长一层薄而均匀的二氧化硅。
随后，晶圆被送入关键的匀胶机。
高速旋转中，粘稠的光刻胶被精准地涂覆在晶圆表面，形成一层厚度仅有微米级别的均匀薄膜，接着前烘氧化进一步去除溶剂，固化胶膜。
对于华芯国际而言，这些步骤都已经相当成熟。
但所有人仍然屏息凝神，生怕稍微粗重些的呼吸影响到某个细微参数，或是引得机魂不悦。
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