学霸的军工科研系统 第1416节(2 / 7)
  ·薄膜呈现非平面二维形态。薄膜区域具有明显的1x1赝晶结构特征。
·能谱分析显示强烈的金属性特征。同时检测到薄膜内部存在一定应力,建议后续通过退火工艺优化消除。
x mta-01设备在衬底表面检测到了含量约15%-25%的三维纳米团簇,所幸这些团簇分布不均,主要集中于特定区域,理论上可通过后期精细切割进行有效分离。
“总体结果还算积极。”常浩南看着报告,难掩赞许,“首次尝试就能达到这个效果,已经非常惊喜了。”
同时他也感觉到了几分欣慰——
终于,自己的学生可以在学术界,而不是在教育界对自己造成威胁了。
栗亚波却盯着报告中关于纳米团簇的数据,眉头微锁:“老师,我在模拟计算时,特意提高了反应腔的环境温度参数,就是想抑制这种三维岛状生长,理论上不应该有这么大的比例才对……”
常浩南闻言,立刻坐回主控电脑前,调出栗亚波设定的工艺参数和底层算法模型。、
他刚才正好看到了有关内能的部分:
“亚波,你还是稍微被半导体那边的工艺给影响到了。”
栗亚波露出不解的表情。
“你参考的氮化硼工艺,衬底是热解石墨,所以高温环境才有助于提高表面吸附原子的迁移率,同时抑制成核行为,促进二维扩展。”
常浩南指着参数,解释道:
“但我们现在的衬底是cd(0001),反而是需要低温条件才能形成高质量的光滑薄膜”
“!!!”
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		·能谱分析显示强烈的金属性特征。同时检测到薄膜内部存在一定应力,建议后续通过退火工艺优化消除。
x mta-01设备在衬底表面检测到了含量约15%-25%的三维纳米团簇,所幸这些团簇分布不均,主要集中于特定区域,理论上可通过后期精细切割进行有效分离。
“总体结果还算积极。”常浩南看着报告,难掩赞许,“首次尝试就能达到这个效果,已经非常惊喜了。”
同时他也感觉到了几分欣慰——
终于,自己的学生可以在学术界,而不是在教育界对自己造成威胁了。
栗亚波却盯着报告中关于纳米团簇的数据,眉头微锁:“老师,我在模拟计算时,特意提高了反应腔的环境温度参数,就是想抑制这种三维岛状生长,理论上不应该有这么大的比例才对……”
常浩南闻言,立刻坐回主控电脑前,调出栗亚波设定的工艺参数和底层算法模型。、
他刚才正好看到了有关内能的部分:
“亚波,你还是稍微被半导体那边的工艺给影响到了。”
栗亚波露出不解的表情。
“你参考的氮化硼工艺,衬底是热解石墨,所以高温环境才有助于提高表面吸附原子的迁移率,同时抑制成核行为,促进二维扩展。”
常浩南指着参数,解释道:
“但我们现在的衬底是cd(0001),反而是需要低温条件才能形成高质量的光滑薄膜”
“!!!”
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