学霸的军工科研系统 第1056节(2 / 7)

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  而约瑟夫·布拉特,正是该领域最杰出的学者之一。

  他在上世纪70-80年代曾先后供职于飞利浦和asml,并于1988年转入学术界,随后在光学成像、光存储技术等领域继续做出了一系列杰出贡献。

  并且是欧洲光学学会的创始人之一和现任主席。

  目前他正在跟进的项目,就是受泰勒霍普森公司委托开发一种新的非接触式三坐标测量技术,以对生产面形峰谷(pv)值优于0.1μm的非球面镜片进行检测。

  这个精度对基于原子力分析的接触式测量技术来说并不算夸张,但由于探针需要和工件表面接触,因此并不适用于某些特别脆弱的光学元器件。

  相比之下,采用干涉法和几何光线法的非接触测量显然要友好得多。

  当然,想要达到跟接触式测量相当的精度,难度也要高得多。

  面对已经记不清是这几个月来第几次的失败,秦少锋已经意识到,继续进行重复性试验已经没有太大意义了。

  现在需要的是更换一下思路:

  “是不是考虑重新标定一下设备的公共观测点,这样位置偏移误差或许能缩小一些?”

  他首先提议道。

  面形检测过程中的误差主要来源于三个方面:运动轴误差、探头误差和位置偏移误差。

  前两者对于接触法和非接触法来说并没有太大差别,因此非接触法的精度问题主要就出现在位置偏移误差上面——

  由于没有一个可以直接接触型面,并直接确定测量参考原点的探头,所以非接触设备捕获到的误差数据,本质上相当于面型误差和位置偏移误差的叠加。

  只有通过算法分离掉后者,才能得到相对精确的结果。
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