重塑千禧年代 第1211节（3 / 7）
方卓视线没放在汽油男的身上，而是眺望窗外：“冰芯到了现在，未来的路难归难，终究还是有迹可循的，euv的技术积累，asml能开启合作是最好，日本的尼康是退而求其次，国内是再次。”
孔豫点了点头，这肯定是三管齐下。
他思考片刻，试图寻找这次活动的重点：“尼康这方面的技术有多强？”
方卓想了想，指了指自己桌上的文件，示意秘书拿给汽油男，然后说道：“尼康08年的时候推出过它的6镜头euv试验机euv1，用的是和asml试验机一样的微缩倍率、光学数值孔径、曝光视场。”
“前两年，它一直在各种光刻机会议上介绍它euv1的进展，08年的时候搞定了动态曝光测试，拿到全晶圆的32nm线／距报告结果，光学系统波像差已经低于0.4nm。”
“euv的3个核心，光源、镜头、掩膜台，尼康的日本供应商gigaphoton公司，它的lpp型（激光等离子体）光源当时已经实现了临时聚焦点if的60w，和asml的光源供应商美国的cymer是不相上下。”
“尼康出了两台euv1工具，一台在日本芯片联盟selete，一台在尼康的日本厂里，主要是给英特尔用。”
“这么说吧，你翻到最后，当时尼康与asml的差距大概是18个月。”
随着方卓的话，孔豫也把文件翻到了最后，对于尼康光刻机的分析结论是曾经的18个月差距。
他不禁问道：“后来呢？”
“后来就是现在了。”方卓笑道，“asml有更激进的工程化策略，现在是完成从adt试验机到0.33na的预生产型euv光刻机nxe：3100的跳跃，三星已经有3100，比利时也有，台记今年的应该正在组装，下一步就是继续迭代了。”
孔豫皱眉：“那尼康还挺可惜的。”
“也可惜，也不可惜吧。”方卓淡淡地说道，“尼康euv计划的很多信息是来自它的宣称，有部分可能是ppt，我们合肥厂之前采购尼康的光刻机，总是有问题，后来也只能用asml的，两家设备的竞争力可见一斑。”
冰芯是与尼康打交道的，只是交道有点越打越远的意思。
尤其合肥厂是追逐先进制程，能用全世界最好的，绝对不会用第二好。
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孔豫点了点头，这肯定是三管齐下。
他思考片刻，试图寻找这次活动的重点：“尼康这方面的技术有多强？”
方卓想了想，指了指自己桌上的文件，示意秘书拿给汽油男，然后说道：“尼康08年的时候推出过它的6镜头euv试验机euv1，用的是和asml试验机一样的微缩倍率、光学数值孔径、曝光视场。”
“前两年，它一直在各种光刻机会议上介绍它euv1的进展，08年的时候搞定了动态曝光测试，拿到全晶圆的32nm线／距报告结果，光学系统波像差已经低于0.4nm。”
“euv的3个核心，光源、镜头、掩膜台，尼康的日本供应商gigaphoton公司，它的lpp型（激光等离子体）光源当时已经实现了临时聚焦点if的60w，和asml的光源供应商美国的cymer是不相上下。”
“尼康出了两台euv1工具，一台在日本芯片联盟selete，一台在尼康的日本厂里，主要是给英特尔用。”
“这么说吧，你翻到最后，当时尼康与asml的差距大概是18个月。”
随着方卓的话，孔豫也把文件翻到了最后，对于尼康光刻机的分析结论是曾经的18个月差距。
他不禁问道：“后来呢？”
“后来就是现在了。”方卓笑道，“asml有更激进的工程化策略，现在是完成从adt试验机到0.33na的预生产型euv光刻机nxe：3100的跳跃，三星已经有3100，比利时也有，台记今年的应该正在组装，下一步就是继续迭代了。”
孔豫皱眉：“那尼康还挺可惜的。”
“也可惜，也不可惜吧。”方卓淡淡地说道，“尼康euv计划的很多信息是来自它的宣称，有部分可能是ppt，我们合肥厂之前采购尼康的光刻机，总是有问题，后来也只能用asml的，两家设备的竞争力可见一斑。”
冰芯是与尼康打交道的，只是交道有点越打越远的意思。
尤其合肥厂是追逐先进制程，能用全世界最好的，绝对不会用第二好。
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