重生千禧大玩家 第1034节(5 / 7)

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  章忠谋不免感到意外。

  “没错,我们还停留在90nm干式光刻机,所以我们需要amsl、台积电提供光刻机的专利技术,让华夏企业自主生产,本来我们计划是找尼康、佳能合作。”

  陆飞勾起了一抹淡淡的笑意。

  中微半导体研发出65nm干式光刻机的消息,一直处于保密状态,就像给华为mate60的麒麟9000s芯片由谁代工的一样,有一股神秘的力量出手,悄悄地保证消息不泄露。

  工信部等领导们有不知情,也有知情,很快就猜到了陆飞的用意,投去鼓励的眼神。

  “这个,我们需要讨论一下。”

  章忠谋和蔡力行等人说着悄悄话。

  “你觉得呢?”

  “章总,我觉得可以答应他们。”

  “呵呵,你就不怕他们真的造出浸润式光刻机,甚至是euv光刻机?”

  “怎么可能呢!您也知道造光刻机的难度有多大,哪怕给他们一套完整的图纸,他们也无法自主制造出一台光刻机,更别说造出euv光刻机,简直是痴心妄想!”

  “你说的也有道理。”

  章忠谋就是太清楚光刻机制造的难度,才没有一口回绝陆飞的条件。

  要知道最先进的euv光刻机包括超过10万个零件,4万个螺栓、3000条线路软管,总长超过两公里,设备重达180吨。

  光给三星的那台试验机,就需要40个集装箱、20辆卡车和三架货机,仅调试时间,就长达一年。
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