第330章(2 / 4)

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  听上去似乎很简单,但是里面的技术含量很高。

  在以前芯片行业还有不少对手的时候,asml开发了双工件台系统,博得了众多卖家的青睐,一跃成为光刻机领域的龙头企业。

  而现在的事实是我们国家对于研发这样的工件台系统还有一定的难度。

  工件台系统包括载片台、电机等,其中比较重要的是调平调焦机构和双频干涉仪等。

  技术难点在于掩模模板的设计还有检测系统,这些都被美国公司所垄断。

  asml的工件台工作顺序是位于曝光光位的工件台进行硅片曝光的同时,另一个工件台对曝光硅片进行形貌测量等等(1),是正好一个往复循环,绝对不会浪费一丝时间的。

  宋问声对这个操控算法有些兴趣,因为里面运用到很多来自于拓扑学的数学知识,在这方面,他舍我其谁?

  观察了一段时间之后,他饶有兴趣的和殷教授讨论这个问题。

  殷教授叹气,“这方面也是简单,两个不行,咱们还可以做三个、四个,无非是运作顺序的问题,这里头的技术难点还是怎么精准测量到被曝光硅片的形貌。”

  在这方面宋问声也没有太多想法,回去在内部网下载了很多这方面的资料之后,就开始自己琢磨。

  于是这段时间,方林山他们这些人彻底失宠了。

  他们的组长宋问声已经跑到隔壁的隔壁去了。

  不过方林山他们还是做得很开心,之前他们没有太多的存在感,现在有成果出来了,可以说是在大家面前说话底气都足了,现在他们还在对这个材料进行研究。

  不需要扩大化生产,他们至少也要在实验室多弄点样品出来,所以他们在改进合成路线,没有之前压力那么大,也是忙得不可开交。

  偶尔有闲下来的时候,他们就会思考,为什么他们搞一件事情都很累了,宋问声还会有精力去跨界,而且还能做的很好呢?
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